ハイデルベルグ・インストルメンツ、アジアで、主要なフォトマスク・メーカー2社から 大量パターンジェネレーターVPG+を受注

2017年8月25日(ドイツ/ハイデルベルグ):
マスクレスアライナー及びリソグラフィーシステムのトップリーダー、ハイデルベルグ・インストルメンツ社は、 アジアの主要フォトマスク・メーカー2社からの高性能大量パターンジェネレーターVPG+ 800 の受注を発表しました。

画期的な VPG+ システムは、中量生産の直描アプリケーションのみならず、高精度フォトマスク製造のこれからの要求に応えるべく設計されました。VPG+のためにカスタム設計されたGLV(空間光変調器)を含む、ソフトウェア、エレクトロニクス、オプティクスにより、素晴らしい画像品質と比類のない描画速度を実現させています。VPG+は、信頼できるソリュ―ションを提供する、維持費用を最小限に抑えた安定したシステムです。

「 この度は、ご発注誠にありがとうございます。これからも、お客様の生産能力の向上と技術的な難題を解決すべく、製品の技術革新と進化に努めてまいります。」「VPG+により、非常に複雑なデザインのラージエリアのフォトマスク生産に、未知への挑戦に取り組んでくることで、直描リソグラフィーシステムにおけるトップリーダーの地位を確立しました。」(営業開発部長アレキサンダー・フォローザン)

ハイデルベルグ・インストルメンツについて:
ハイデルベルグ・インストルメンツは高解像度レーザーリソグラフィ及びマスクレス・リソグラフィー・システムのメーカーとして、これまでに700台以上を50か国・地域にインストールという実績を持ちます。ハイデルベルグ・インストルメンツのシステムは、 様々なアプリケーションへの適応能力の高さにより、直接描画やフォトマスク製作を必要とする研究開発分野から、産業界へと幅広いユーザーを獲得しています。MEMS、バイオMEMS、ナノテクノロジー、ASICS、TFT・プラズマ等のFPD、マイクロ光学等を中心とした分野の最先端の研究所や生産現場で採用されています。

 
Heidelberg Instruments GmbH
Phone: +49 6221 3430 0

戻る