大型ステージシステム

ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックは、20年に及ぶ経験から高解像度大型ステージシステムについて豊富な専門知識を有しています。カスタム設計ステージシステムは元々はマスクレスリソグラフィの社内向けとして開発されました。現在は、位置決めと解像度の重要性が高い分野と同様に、技術的要求の厳しい、材料加工、露光システム、計測学やその他で活用されています。

本ステージシステムはハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニック独自のエアベアリング技術をベースとしており、最小解像度1nmを誇るインターフェロメータ測定システムと共に実装可能です。強力なリニアモーターを採用し高い位置決め精度を維持したままで高速移動を実現しています。

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