マイルストーン

2015 新世代マスクレス・アライナー MLAシリーズを発表
2014 北米と中国における新たなプロセス&アプリケーション・ラボの開設を発表
2013 独国ハイデルベルグのプロセス&アプリケーション・ラボを拡張
2013 μPG 501 卓上型システム が 2013 Prism Award を受賞
2012 通算出荷システム 500台突破
2011 大面積リソグラフィ・システムの生産設備を増強
2009 横浜に最先端のプロセス&アプリケーション・ラボを開設
2008 取引国が40カ国を超える
2007 先進的な電子パッケージング産業向けの VPG シリーズ フォトマスク量産システム を発売
2006 卓上型マスクレス・リソグラフィ・システム μPG 101 を発売
2005 韓国カスタマー・サポート・オフィスを開設
2005 通算出荷システム 200台突破
2004 露光エリア 1m x 1m、3D露光が可能な大面積マスクレス・リソグラフィ・システムを納入
2003 MW2400 及び MW1100 を発売しディスプレイ業界に参入
2002 通算出荷システム 100台突破
2002 日本にカスタマー・サポート・オフィスを開設
1999 中国にカスタマー・サポート・オフィスを開設
1998 米国にカスタマー・サポート・オフィスを開設
1997 台湾にカスタマー・サポート・オフィスを開設
1995 ヨーロッパ及びアジアで1台目となる大面積マスクレス・リソグラフィ・システムを納入
1995 研究開発向けに DWL 66 システムを発売
1992 アジアで1台目となるシステムを納入
1991 独国及び米国で1台目となるシステムを納入
1990 Heidelberg Instruments として独立。最初の創立者の一人である Dr. R. Wijnaendts が購入し、同氏は社長兼CEOに就任。
1984 眼底検査、表面物理、レーザー走査、共焦点顕微鏡、画像処理といった分野に特化した複数のベンチャー企業グループとして Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH 設立