MLAシリーズ

マスクレスアライナーは容易な操作と高速な露光を実現すべく設計されたハイパフォーマンス直接描画システムです。従来のシングルレイヤ/マルチレイヤのアプリケーション用マスクアライナーの機能はもちろん、フォトマスクを用いた露光技術の枠を超える汎用性を備えています。MLAシリーズはフォトマスクを不要とし、開発サイクルを大幅に短縮します。

MLA100 - Tabletop Maskless Aligner

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MLA100は高機能でありながら接地面積をコンパクトに、そして低いランニングコストを実現しました。100mmサイズまでのアプリケーションの開発や試作に最適なマスクレスアライナーです。

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MLA150 - Maskless Aligner

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新世代直接描画システムであるMLA150は、ユーザビリティ、高精度アライメントそして高速露光を実現しました。150mmサイズまでのアプリケーションの開発や試作に最適なマスクレスアライナーです。

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