フリーフォーム

イメージングセンサー・人工視覚・マイクロ光学集積等に代表される、非平面への電子システムを実装するアプリケーションは数多くあります。一般的なフォトリソグラフィは多くの制約があり、非平面へのパターニングに対応できていません。

レンズの様な非平面基板へのリソグラフィプロセスを実現するべく、the Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering (IOF) と共同で、平面及び凸面凹面といった非平面の基板が可能なマスクレスリソグラフィシステムを開発致ました。グレイスケール露光機能と1μmの最小描画サイズにより、複雑で優れたマイクロ光学部品や、屈折回折を組合せたハイブリッド部品を製造可能です。

詳しくは以下の動画をご覧ください。併せてこのシステムに関する刊行物へのリンクもご参照ください。