アップグレード

マスクレスリソグラフィ機器の寿命と共に、目標とするアプリケーションとその要求も変わっていきます。例えば、高解像度アプリケーションのサイズは常に小さくなっていき、その間に特定の波長にのみ反応する新しいレジストを必要とする他のアプリケーションが現れます。

ハイデルベルグ・インストルメンツのマスクレスリソグラフィ機器はこれらの課題に対応できるように設計されています。殆どの標準的なオプションはいつでもアップグレードとして実装可能です。一般的なアップグレードは、高解像又はスループットの向上の為の描画モードの追加、波長の違うレーザーソースとの交換、3次元アプリケーションの為のグレイスケール対応等が代表的です。他にもバックサイドアライメントやベクターモード等があります。

現行のシステムへで使用可能なオプションの適用範囲を広げると同時に、顧客のシステムが先端性を確保し続け、その維持費を低く抑えるために既に稼働しているシステムへの実装の可能性を調査します。したがって、新しいアプリケーションに対応する為にアップグレードの適用範囲は常に変化します。特定のアップグレードは顧客の要望によって開発される事もあります。

具体的にお客様のシステムにどのアップグレードが適用可能か確認したい場合、お近くのサービスオフィスか本社にお問い合わせください。弊社のテクニカルスタッフお客様にとって最善なソリューションをご提案いたします。