応用分野

ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックはミクロンスケールの理工学分野においてその存在感を示しており、そのリソグラフィシステムは、性能の高さと汎用性により3大陸にわたる世界中のお客様に利用されています。世界中の様々なマーケットにおいて、ディスプレイの生産ラインからバイオケミカル工学の研究分野に至るまで、多様な素材へのマイクロ構造の製作に使用されています。

ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックのシステムは、フラットパネルディスプレイや先端電子回路パッケージングの生産に採用されています。これらのアプリケーションにおいては、2.5m四方に及ぶ大きな描画エリアにも対応する、高精度の位置決めと位置補正が求められます。生産現場で要求される非常に厳しいスループット速度に対応するため、ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックは専門技術の開発を行ってきました。高精度の位置決めとそれに連動する光学フィードバック補正により、大きな描画エリアに対する高速スループットを量産レベルで可能にしています。

ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックのシステムは、世界中の名だたる学術研究機関において、様々な分野の研究開発に採用されています。ナノファブリケーション分野の中枢施設において、研究用途としてあらゆるお客様にご使用いただいています。多種多様な素材と基盤を使用するアプリケーションに弊社のシステムは使用されており、直感的なインターフェイスを備えた汎用性が、迅速かつ容易に最先端の研究を可能とします。

他の分野においては、世界最先端のマイクロ光学研究の現場において、湾曲した基板上での微細加工が行われています。この研究では、凸形やその他の平坦でない基盤上にマイクロストラクチャを描画するにあたり、精密かつ旋回可能な特製ステージが必要です。この革新的なシステムはFraunhofer研究所と共同で開発されました。今やこのテクノロジーは、ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックの一般的なシステムでも使用可能です。このように、ハイデルベルグ・インストルメンツ・ミクロテクニックは、以前は実現不可能であったミクロンスケールの技術を具現化することに成功しつつ、システムをアプリケーション向けにカスタマイズしていくことに常に邁進しています。